纳米压印技术

2019-12-23 分享

  纳米压印技术是一种高分辨率的光刻技术,采用纳米图案的刚性模具将基片上的聚合物压出纳米级图形,再对压印件进行常规的刻蚀、剥离等加工,最终制成纳米结构和器件。

  紫外压印光刻技术结合高精度莫尔条纹对准技术可实现从微米到纳米的跨尺度图形加工。融合紫外光刻与纳米压印两大微纳加工技术,在同一加工平台上能够满足绝大多数微纳器件的制作需求。采用莫尔条纹高精度对准技术,利用莫尔条纹放大效应,通过相位解析实现高精度对准,对准精度达到纳米量级,能够满足多层复杂纳米结构加工的需要。
  

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